Описание
Программа профессионального обучения «Оператор вакуумно-напылительных процессов»
Цель программы
Подготовить квалифицированных операторов вакуумно-напылительных процессов, способных безопасно и эффективно выполнять технологические операции по нанесению тонких пленок в вакууме на различные подложки (полупроводниковые пластины, оптические элементы, изделия микроэлектроники и др.) в соответствии с отраслевыми стандартами и требованиями производства.
Задачи программы
1. Освоить теоретические основы вакуумных технологий и процессов нанесения покрытий.
2. Изучить устройство, принцип работы и правила эксплуатации вакуумного напылительного оборудования.
3. Освоить технологию подготовки подложек и материалов для напыления.
4. Научиться настраивать и контролировать параметры вакуумно-напылительного процесса (давление, температура, скорость осаждения и др.).
5. Овладеть методами контроля качества нанесенных покрытий и выявления дефектов.
6. Изучить требования охраны труда, промышленной и экологической безопасности при работе с вакуумным оборудованием и химическими реагентами.
7. Приобрести практические навыки обслуживания и мелкого ремонта оборудования.
8. Сформировать умение вести технологическую документацию и отчетность.
Знания, которые получит обучающийся
— Физические и химические основы процессов вакуумного напыления (испарение, распыление, ионное осаждение и др.).
— Виды и свойства материалов для напыления (металлы, диэлектрики, полупроводники).
— Устройство и принцип работы вакуумных насосов, камер, систем напуска газов, источников напыления.
— Технологические режимы напыления для различных типов покрытий.
— Методы подготовки подложек (очистка, активация поверхности).
— Способы контроля параметров процесса (давление, температура, толщина пленки).
— Методы контроля качества покрытий (оптические, электрические, профилометрия и др.).
— Типичные дефекты покрытий и способы их устранения.
— Требования технической документации (ТУ, ГОСТ, технологические карты).
— Правила охраны труда, пожарной безопасности и экологической безопасности при работе с вакуумным оборудованием.
— Основы технической диагностики и профилактического обслуживания оборудования.